高純氣體純度分析是一門專業(yè)學(xué)科。氣體純度分析實(shí)際上是檢測氣體中微量或者痕量的氣體。氣體純度分析中采用扣除雜質(zhì)的差減法進(jìn)行計(jì)算。高純氣包括:高純H2, O2, N2, CO, CO2 等永久性氣體;高純He, Ne, Ar, Kr, Xe等稀有氣體;高純Cl2,H2S, NH3, PH3, SiH4 等特種氣體。通常氣體純度5個(gè)“9”(99.999%)以上,總雜質(zhì)下于10×10-6V/V(10ppm)稱為高純氣,6個(gè)“9”(99.9999%)以上稱為超高純氣。隨著我國經(jīng)濟(jì)的高速發(fā)展,石油化工生產(chǎn),半導(dǎo)體工業(yè),環(huán)境分析和科學(xué)研究等對(duì)高純氣不僅在數(shù)量上、質(zhì)量上、種類上不斷提出新的要求,氣體純度要求也越來越高。
氣相色譜儀器被廣泛地應(yīng)用氣體檢測,常用的有幾下幾種檢測器:熱導(dǎo)池檢測器TCD,其結(jié)構(gòu)簡單、性能穩(wěn)定、線性范圍寬,適合最低檢測限大于100ppm 的氣體;氫火焰離子檢測器FID,其靈敏度高、響應(yīng)快、線性寬、操作簡單,對(duì)碳烴類化合物檢測靈敏度高,對(duì)無機(jī)氣體CO, CO2,通過鎳觸媒轉(zhuǎn)化CH4,也能有很好的響應(yīng),但對(duì)其他無機(jī)氣體無響應(yīng);火焰光度檢測器FPD,其選擇性檢測器,只對(duì)含硫和磷有機(jī)化合物有很高的靈敏度,如H2S;電子捕獲檢測器ECD,其選擇性檢測器,只對(duì)具有電負(fù)性的物質(zhì)有很高的靈敏度,如N2O;脈沖氦離子化檢測器PDHID和介質(zhì)阻擋放電氦等離子體檢測器BID,其靈敏度高,性能穩(wěn)定,其能放出高能光子能量(17.7eV),可以離子化除Ne和載氣He外的全部化合物,為通用型檢測器,是檢測分析微量或者痕量氣體的利器。
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